Компания TekSiC представила Xforge™ PVT — усовершенствованную высокотемпературную индукционную нагревательную печь, разработанную для удовлетворения требовательных потребностей полупроводниковой промышленности и научно-исследовательских институтов. Разработанный с использованием самых современных технологий, Xforge™ PVT по-новому определяет разработку и эксплуатацию процесса физического переноса пара (PVT). Его универсальные конфигурации обеспечивают максимальную производительность в специализированных приложениях, что делает его решающим фактором в выращивании кристаллов карбида кремния (SiC).

Являясь ключевым элементом платформы Xforge™ от TekSiC, Xforge™ PVT является результатом смелого видения: создать печь, сочетающую исключительные возможности нагрева с гибкостью, необходимой для различных высокотемпературных применений. Инженеры TekSiC изо всех сил старались сбалансировать размеры, мощность и модульность, в конечном счете разработав компактную, высокоэффективную печь, которая обеспечивает точный и последовательный нагрев различных материалов и технологических процессов.

Основные характеристики Xforge™ PVT:

• Компактная модульная конструкция: Xforge™ PVT имеет модульную архитектуру, которая обеспечивает легкую настройку, позволяя пользователям адаптировать печь к своим конкретным областям применения PVT. Такая адаптивность обеспечивает максимальную эффективность и производительность без ограничений, связанных с громоздкими, универсальными системами. Его небольшие габариты и штабелируемая конструкция значительно увеличивают количество печей, которые могут поместиться на производственном объекте.
• Универсальное применение: Идеально подходящий как для промышленного, так и для исследовательского применения, Xforge™ PVT поддерживает процессы выращивания кристаллов SiC диаметром до 200 мм. Он также полностью подготовлен для бесшовной интеграции в крупномасштабные производственные среды SiC.
• Усовершенствованный контроль технологического процесса: Оснащенный высококачественными компонентами, Xforge™ PVT с индукционным нагревом обеспечивает точный контроль давления и температуры, обеспечивая исключительную стабильность при выращивании кристаллов SiC. Его расширенные возможности обработки данных позволяют использовать приложения машинного обучения с использованием новейших коммуникационных протоколов, повышая автоматизацию и оптимизацию процессов.
• Надежность, проверенная в полевых условиях: Xforge™ PVT в течение нескольких лет проходил обширные испытания на промышленную надежность на объектах заказчика, демонстрируя свою долговечность в условиях экстремально высоких температур. Он имеет маркировку CE, гарантирующую соответствие строгим стандартам ЕС в области охраны здоровья, безопасности и охраны окружающей среды.
• Прецизионное мастерство из Швеции: Разработанный и изготовленный в Линчепинге, Швеция — мировом центре исследований полупроводников и выращивания кристаллов SiC — Xforge™ PVT отражает многолетний опыт TekSiC в области материаловедения и системотехники. Каждое устройство тщательно изготовлено для обеспечения превосходного качества и надежности.

Xforge™ PVT теперь доступен для немедленной доставки.