Компания Trelleborg Sealing Solutions представила два новых дополнения к своему продукту Isolast^® Серия материалов PureFab™ FFKM, сверхвысокотемпературный перфтороэластомер (FFKM) и превосходное универсальное уплотнение с превосходной химической совместимостью для применения в полупроводниках.

Эти два новых материала дополняют широкий ассортимент продукции Isolast® PureFab™, разработанной для удовлетворения самых сложных требований к герметизирующим решениям для технологических процессов front-end и subfab, включая необходимые механические свойства, химическую стойкость, стойкость к воздействию плазмы и чистоту.

По данным компании, эти новые Isolast^® Полупроводниковые материалы PureFab™ решают специфические задачи во все более требовательных условиях работы фабрик и подсистем. Новые материалы JPF22 и JPF40 специально разработаны для решения этих проблем, вызванных быстрым развитием отрасли и растущей зависимостью от высоких температур и агрессивных химических прекурсоров.

В связи с постоянно растущими суровыми условиями эксплуатации заводам-изготовителям требуются компоненты, которые прослужат дольше, чтобы предотвратить преждевременный выход из строя уплотнений и сократить время простоя и связанные с этим расходы. Линейка Isolast® PureFab™, основанная на значительном внутреннем опыте Trelleborg и мировой цепочке поставок, даже для уникальных и специально разработанных компонентов обеспечивает надежного и отзывчивого партнера, который быстро предложит правильное решение.

Что касается химикатов для мокрого процесса, пара и прекурсоров для атомно-слоевого осаждения на основе аминов (ALD), то JPF22 превосходит их. Он также обладает превосходной стойкостью к воздействию плазмы и способностью к образованию частиц в различных технологических газах. Он проявляет гораздо меньшую деформацию, чем конкурирующие изделия, и обеспечивает долговременную герметизацию. Он подходит для работы при температурах до +220 °C/+430 °F.

FFKM хорошо подходит для различных мокрых процессов, таких как электрохимическое осаждение (ECD), химико-механическая планаризация (CMP) и мокрое травление, а также для сухих процессов, таких как химическое осаждение из паровой фазы (CVD), химическое осаждение из паровой фазы с усилением плазмы (PECVD) и плазменное травление. Он также эффективен для сухих процессов, таких как золошлаковые прокладки и пластинчатые уплотнения ECD.

Благодаря отличному химическому составу сшивки, сверхвысокотемпературный состав Trelleborg, JPF40, обладает исключительной устойчивостью к деформации при длительных испытаниях на сжатие. Деформация составляет почти 50% через 6500 часов, или 270 дней, при температуре +200°C/+392 °F. Он может выдерживать даже температуру до +350 °C/+662 ° F в течение 72 часов, что делает его эластомером с высочайшей прочностью при максимальных нагрузках. Кроме того, состав обладает низким выделением газов, очень низким содержанием примесей металлов по сравнению с другими высокотемпературными черными FFKMS, минимальным образованием частиц, потерей веса при воздействии различных газов плазменного процесса и превосходной химической совместимостью с обычными сухими технологическими газами.

Полупроводниковый материал идеально подходит для использования в сочетании с фланцем Isolast® K-FabTM. Он подходит для тепловых и вспомогательных применений, таких как насосы, системы снижения вакуума, выпускные трубопроводы, окисление, быстрая термическая обработка (RTP), химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD) и осаждение атомным слоем (ALD).