Несколько ведущих японских литейных заводов разместили значительные заказы у Плазменная технология Oxford Instruments для плазменного атомно-слоевого напыления (ALD) и атомно-слоевого травления (ALE) при изготовлении устройств GaN HEMT. Системы будут обеспечивать поддержку быстрорастущего сектора силовой электроники и радиочастотного оборудования GaN. Для силовой электроники системы будут определять приоритеты 5 Г/ Приложения для связи 6G, в то время как для радиочастот они будут ориентированы на быструю зарядку потребителей и приложения для центров обработки данных.

Помимо повышения качества пленок и интерфейсов, технология ALD от Oxford Instruments обеспечивает лидирующих на рынке производителей устройств GaN HEMT высокой производительностью плазменной обработки с низким уровнем повреждений. Высококачественное решение ALE для p-GaN HEMTs от Oxford Instruments сочетает в себе непревзойденную точность травления с низким уровнем повреждений с помощью технологии Etchpoint®, новой технологии обнаружения конечных точек, разработанной совместно с LayTec AG.

Технология Etchpoint®, созданная в результате эксклюзивного сотрудничества между LayTec и Oxford Instruments, позволяет автоматически переходить от обычной высокоскоростной обработки травлением к обработке с низким уровнем повреждений ALE, тем самым повышая надежность устройства. Кроме того, ALE позволяет выполнять частичное травление углублений на AlGaN с точностью до 0,5 нм, что не имеет аналогов в отрасли, что облегчает работу устройств следующего поколения с электронным режимом GaN MISHEMT. Объединив эти технологии в автоматизированном конвейере, который обеспечивает многокамерную обработку без снижения вакуума, можно повысить производительность устройства и ежедневно получать большее количество высококачественных пластин при меньших затратах.

Компания Oxford Instruments Plasma Technology сообщает, что Япония значительно наращивает производство GaN-транзисторов для ключевой силовой электроники и ВЧ рынки, и компания извлекает выгоду из этого, расширяя свою клиентскую базу и привлекая новых клиентов. Комплексные решения GaN HEMT от Oxford Instruments предназначены для решения сложных задач, стоящих перед заказчиками устройств, при сохранении производительности, надежности и времени безотказной работы.