Компания Kyma Technologies, ведущий разработчик передовых технологий широкополосных полупроводниковых материалов, объявила о том, что использовала свой новый инструмент для выращивания гидридов K200 методом парофазной эпитаксии (HVPE) для получения высококачественного HVPE GaN диаметром 200 мм на шаблонах QST (технология подложек QROMIS).

Объявление о разработке компанией Kyma GaN диаметром 200 мм на шаблонах QST® последовало за объявлением в 2016 году о демонстрации GaN диаметром 150 мм на шаблонах QST® в партнерстве с QROMIS, Inc. (ранее Quora Technology, Inc.) и недавним объявлением о вводе в эксплуатацию Kyma K200™ HVPE growth. инструмент.

На фото показан один из продемонстрированных образцов HVPE GaN диаметром 200 мм на шаблонах QST, который состоит из 10 микрон HVPE GaN, выращенного на 5-микронном MOCVD GaN на пластине QST, предоставленной QROMIS. Ширина линии качающейся кривой рентгеновской дифракции для шаблонов находится в диапазоне 250 и 330 угловых секунд для симметричных {002) и асимметричных {102} рентгеновских пиков соответственно, что соответствует высокому качеству конструкции. Низкий изгиб пластины (~50 микрон) и гладкая морфология поверхности позволяют предположить, что эти материалы должны обеспечивать производство высокопроизводительных устройств.

Недавно разработанный компанией Kyma инструмент K200™ HVPE является первым в отрасли и был разработан инженерами Kyma для обеспечения равномерного и быстрого наращивания высококачественного GaN на различных подложках. Kyma и Qromis сотрудничают в этой работе в рамках SBIR IIB фазы Министерства энергетики США под руководством Kyma с наградным номером DE-SC0009653.

Недавно компания QROMIS начала производство 200-мм подложек QST® и пластин GaN-on-QST® с использованием своего партнера по литейному производству Vanguard International Semiconductor (VIS). В 2018 году компания VIS планирует предложить услуги по производству устройств GaN power на платформе QST® диаметром 8 дюймов. Компания Kyma также сотрудничает с производителем полупроводникового оборудования мирового класса для производства инструментов K200™ HVPE для клиентов, которые предпочитают использовать передовые технологии Kyma по выращиванию HVPE GaN собственными силами.

Для получения дополнительной информации о Kyma, visitwww.kymatech.com

Для получения дополнительной информации о QROMIS посетите http://www.qromis.com