Компания Soitec (Euronext Paris), лидер отрасли в разработке и производстве инновационных полупроводниковых материалов, выбрала корпорацию KLA, лидера в области управления технологическими процессами и передовых систем контроля, для обеспечения высокопроизводительного производства инновационных устройств из карбида кремния (SiC) для автомобильной промышленности.

Soitec использует свою уникальную и запатентованную технологию SmartSiC™ для производства SiC’подложек, целью которых является улучшение характеристик устройств силовой электроники и повышение энергоэффективности электромобилей.

Основываясь на своем опыте использования инспекторов KLA для своих пластин на кремнии на изоляторе (SOI), Soitec расширила свое партнерство с KLA и выбрала Surfscan^® Система контроля без паттернов SP A2 для своего SmartSiC^тм вафли.

SmartSiC от Soitec^тм пластины обеспечивают превосходное и уникальное качество кристаллов, в то время как Surfscan от KLA^® SP A2 использует оптику DUV и передовые алгоритмы для поддержки контроля качества подложки. Это партнерство позволит производить подложки из SiC на новом и еще более сложном уровне, помогая отрасли поставлять высококачественные полупроводники из SiC в больших объемах на автомобильный рынок.

В марте 2022 года Soitec объявила о строительстве новой фабрики Bernin 4 в своей штаб-квартире в Бернине, недалеко от Гренобля, Франция, которая в первую очередь предназначена для производства пластин SmartSiC ™ размером 150 мм и 200 мм. Ожидается, что новый завод будет введен в эксплуатацию ко второй половине 2023 года.

“Соединяя наш уникальный SmartSiC^тм спроектированные подложки с использованием систем контроля и метрологии KLA помогут нам обеспечить высочайший уровень качества при производстве подложек и, таким образом, повысить отдачу клиентов в дальнейшем”, — сказал Кристоф Малевиль, технический директор Soitec. “С помощью KLA мы продемонстрировали огромный потенциал их системы контроля для нашей важнейшей технологии SOI. Теперь мы применяем его к нашему инновационному SmartSiC^тм технологии для автомобильного сектора. Это поможет нам повысить эффективность нашего производства, удовлетворить растущий спрос на рынке электромобилей и предложить нашим клиентам дополнительную ценность”.

Напечатано с разрешения